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關于光學位移平臺產(chǎn)品總結(jié)報告
KX系列光學位移平臺有超高轉(zhuǎn)動精度，勻速穩(wěn)定性、小的軸向和徑向跳動誤差，以及高剛性等特點。LX系列光學位移平臺是憑借研發(fā)團隊的材料、結(jié)構、仿真分析等專業(yè)技術，對轉(zhuǎn)臺整體進行不斷優(yōu)化的結(jié)果，非接觸的氣浮軸承結(jié)構，實現(xiàn)無摩擦的轉(zhuǎn)動，使LX系列氣光學位移平臺達到微米以下級別的轉(zhuǎn)角精度。
光學位移平臺應用領域
科研；工業(yè)制造；激光加工制造；電子零件生產(chǎn)、組裝；半導體制造、檢測；平面顯示器制造、檢測
